气体中水分的测定方法:
气源是仅次于电源的一种动力源,气源同时还是--种重要的工艺介质,这种双重身份使气体在工业基础中充当了重要的角色。气体的生产和使用都要考虑到水分的影响。水有时也被认为是一种“万能溶剂",这是由于它的*的物理和化学性质决定的。各个领域的研究及应用中都涉及到水分的分析,微电子工业、石油、化工领域尤为突出。超高纯度气体对于半导体集成电路中所要求的越来越小的几何特征具有极其重要的作用。经证实,气体中只要有十亿分之几的水分就可在硅片上导致瑕疵。
工业生产气体中水分不同于其他气体杂质(0、N、CH、CO,等),水分的存留与氢键有关,氢键比其他作用的范德华力和偶极矩力表现出更强的吸引力,因此水分被固体表面吸附就很难除去。一般用长时间吹扫的方法除去气体中的水分,即目前气体中水分含量的指标。因此,在上述领域中,一般都需要对微量水分加以监测。水分的测定分析方法可分为物理方法和化学方法两大类,如:光腔衰荡光谱法、电解法、露点法、卡尔费休库仑法、重量法、碳化钙法等。
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